“ASTM Standards for XPS”   

• Analysis Guidelines and Guide to Standards  –  E2735
• Sample Preparation and Handling  –  E1829, E1078
• Binding Energy  –  E2108, E1523
• Peak Intensities Background, Fitting and Damage  –  E995
• Ion Gun and Sputter Rate, Film Thickness  –  E1577, E1127, E1634
• Depth Resolution  –  E1127, E1577, E1634, E1636
• Charge Control and Referencing  –  E1523
• Analysis Area  –  E1217
• Data Reporting  –  E996

https://www.astm.org/Standard/standards-and-publications.html