“ASTM Standards for XPS” Â
- Analysis Guidelines and Guide to Standards – E2735
- Sample Preparation and Handling – E1829, E1078
- Binding Energy – E2108, E1523
- Peak Intensities Background, Fitting and Damage – E995
- Ion Gun and Sputter Rate, Film Thickness – E1577, E1127, E1634
- Depth Resolution – E1127, E1577, E1634, E1636
- Charge Control and Referencing – E1523
- Analysis Area – E1217
- Data Reporting – E996
https://www.astm.org/Standard/standards-and-publications.html